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In Zusammenarbeit mit unserem Partner General Plasma Inc. einem
Innovationsführer in der Dünnschichttechnologie können wir Ihnen
hochleistungsfähige Beschichtungsquellen anbieten. Wir liefern Magnetrons mit unübertroffen gleichmäßiger Beschichtungsqualität, Zuverlässigkeit und Targetausbeute. |
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Rotary Magnetron Kathode RMC  hochleistungsfähig, exzellente Targetausnutzung, 3+ Meter |
Planare Magnetrons Mov-Mag™  große Targetausnutzung, hohe Gleichförmigkeit, niedrige Wartung |
Ionenquellen  hocheffiziente lineare Ionenquellen |
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PECVD  revolutionäre Plasma-Technologie mit hohen Beschichtungsraten bei geringen Energiekosten |
Stromversorgungen  mit breitem Leistungs- und Frequenzspektrum für optimale Sputterprozesse |