Targetmaterialien können sehr teuer sein. Unsere Rotary Magnetron Kathoden sind für eine größtmögliche Targetausnutzung bei gleichzeitiger Optimierung der Filmeigenschaften und Beschichtungsgleichförmigkeit entwickelt.

Das kompakte und wartungsarme Design des Magnetron-Endblocks beinhaltet eine ferrofluidische Vakuumdichtung und eine Gleitringdichtung zum Kühlwasser und zeichnet sich durch eine Baulänge von nur 106 mm aus. Durch das Wegfallen aller Dichtlippen können Ausfall- und Wartungszeiten und damit die Betriebskosten enorm reduziert werden.

Der GPi Endblock ist sowohl für Retrofits von planaren Magnetrons als auch für bestehende und neue Rotary-Magnetron-Systeme geeignet. Die Magnetrons sind geeignet für eine Targetlänge von 500 bis 4.000 mm.

• hervorragend gleichmäßige Beschichtung +/- 2%
• fokussierte Feldmagnete verbessern die Beschichtungsqualität
• keine Dichtlippen
• Ferrofluidische Vakuumdichtung
• Gleitringdichtung aus Keramik zum Kühlwasserkreislauf
• robustes, hochwertiges und kompaktes Design
• drei Endblock-Konfigurationen möglich
• Sputtering auch von magnetischen Materialien möglich