Planare Magnetrons mit beweglichen Magneten Mov-Mags™

Eine innovative Lösung bei geringer Targetausnutzung und teuren Targets:

Rotary Magnetron Cathode
  • verbesserte Targetausbeute
  • Exzellente Filmeigenschaften
  • kompaktes Design
  • ermöglicht direktes Retrofit von bestehenden planaren Magnetrons
  • ITO Filme
  • seltene Metalle
  • Dual AC Sputtering von leitenden Materialien
  • gleichmäßige Beschichtungsqualität über alle Durchläufe
Datenblätter und Broschüren
Mov-Mags [*.pdf]