Ionenquellen

Leistungsfähige lineare Ionenquellen für Ätzen und Reinigen, verbesserte Hafteigenschaften und DLC Beschichtung.

  • wartungsarm
  • geeignet für reaktive Gase, wie z.B. Silan
  • Ideal für großflächige Anwendungen - +3m lang
  • anwendbar für eine Vielzahl von Materialien, wie z.B. Glas, Polymere und Metalle

Wir liefern folgende Ionenquellen:

PPALS™ (Pointed Pole Anode Layer Ion Source)

PPALS
  • hochdynamische Ätzrate (30nm m/min)
  • 10fache Reduzierung der Kontamination
  • einfaches Retrofit für bestehende Anodenschicht Ionenquellen aller Hersteller
  • 3+ Meter lang
Datenblätter und Broschüren
PPALS [*.pdf]

 

Klassische Lineare Ionenquelle (LIS)

LIS
  • Neue Produktlinie
  • verfügbar von 380 mm bis zu 3.700 mm
  • vielfältig einsetzbar: Reinigung, Ätzen, Oberflächenbearbeitung, Ionenstrahlbeschichtung
  • verschieden Einbauoptionen: direkt angeflanscht oder über Leitung und Durchführungen

Datenblätter und Broschüren
LIS [*.pdf]