SCROLLVAC
Erst
seit wenigen Jahren kommt die Scrollpumpe auch als ölfreie Vakuumpumpe zum
Einsatz. Jede Scrollpumpe besteht aus zwei oder mehreren archimedischen
Spiralen, die um 180° versetzt ineinander gesetzt werden. Hierdurch entstehen
mehrere halbmondförmige Taschen in unterschiedlicher Größe. In einer
feststehenden Spirale wird eine zweite Spirale über ein Exzenter orbitierend
bewegt, hierdurch verringert sich das Volumen der Taschen und die Gase werden
von außen nach innen verdichtet und damit gefördert. Wichtig für die Qualität
der Scrollpumpe ist die Einhaltung exakter Fertigungstoleranzen und eine
geeignete Materialwahl.
Leistungsdaten:
- Ölfreie Vakuumpumpe
- Saugvermögen 5 bis 60 m³/h
- Enddruck <1 x 10-2 mbar
- Robuste und wartungsfreundliche Konstruktion
- Hohes Saugvermögen auch bei 1000 mbar
- Leiser, schwingungsarmer Betrieb
- Lange Wartungsintervalle
- Niedrige Pratikelgenerierung
- Niedriges Endvakuum
- Maximaler Einlassdruck
- Geringes Gewicht
- Luftkühlung
- Geringe Leistungsaufnahme
Ölfreie Scroll-Vakuumpumpen eignen sich für den Einsatz in Applikationen überall dort, wo ein trockenes und sauberes Vakuum benötigt wird:
- Elektronenstrahlschweißen
- Laser
- Lecksuchsysteme
- Beschleuniger / Synchrontrone
- Oberflächenanalysengeräte
- Rasterelektronenmikroskope
- Load-Lock / Schleusenkammern
- Spektroskopie n Lampenfertigung
- Als Vorpumpe für Turbo-Molekularpumpen
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